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Ultrasonic Systems社

設備概要

USI社の超音波スプレーコーティングシステムは、ノズルレスで超音波エネルギーにより液滴を生成し、低圧エアーでスプレーパターンを形成します。

従来装置に無い高精度かつ極薄膜コーティングを実現し、コーティング液の使用効率は95%以上を達成しております。スプレーパターン幅は、各種ヘッドの選択またはパラメータ設定により2㎜~150㎜までのパターン幅範囲に対応し、フラットかつ矩形形状での均一な仕上がりとなります。

製品紹介

PRISM BT(Bench-top) Coating System

ベンチトップ型、研究開発用に最適なモデル

  • 用途:エレクトロニクス全般
  • 超音波CAT(ILDS / BLADE)周波数35KHz/45KHz/60KHz  ヘッド及び周波数選択により各種スプレー幅対応(2㎜~150㎜)
  • コーティング範囲 390㎜×390㎜ (Z軸100㎜)
  • 位置決め分解能:0.025㎜ *位置決め精度:±0.05㎜
Prism500

研究開発・生産用モデル

  • 用途:エレクトロニクス全般
  • 超音波CAT(ILDS / BLADE)周波数35KHz/45KHz/60KHz  ヘッド及び周波数選択により各種スプレー幅対応(2㎜~150㎜)
  • コーティング範囲 490㎜×490㎜ (Z軸100㎜)
  • 位置決め分解能:0.025㎜ *位置決め精度:±0.05㎜
  • コンベア連結(Option)
PV360

研究開発・量産用モデル

  • 用途:結晶系ソーラセル製造
  • 超音波CAT 45 BLADEヘッド搭載(周波数45KHz)  スプレー幅(215㎜まで対応)
  • フローレート範囲:10~30ml/min.
  • プロセス幅:914㎜
  • コンベア連結仕様(コンベア速度1.8m/minまで)
  • IRウェハ乾燥ユニット
PV480

研究開発・量産用モデル

  • 用途:ガラスパネル上の薄膜コーティング
  • 超音波CAT 45 BLADEヘッド搭載(周波数45KHz)  スプレー幅(215㎜まで対応)
  • フローレート範囲:10~30ml/min.
  • プロセス幅:1200㎜
  • コンベア連結仕様(コンベア速度1.8m/minまで)
MAX800

量産用モデル、大型基板対応、高速高生産性

  • 用途:薄膜各種、エレクトロ二クス全般
  • 超音波CAT(BLADE)ヘッド、周波数35KHzまたは45KHz  スプレー幅対応(25㎜~150㎜)
  • フローレート範囲:10~80ml/min.
  • コーティングエリア 780mm×780mmまでの対応
FP1200

量産用モデル、大型基板対応、高速高生産性

  • 用途:ガラスパネル上の薄膜コーティング
  • 超音波CAT(BLADE)ヘッド、周波数45KHz  スプレー幅対応(215㎜まで)
  • プロセス幅:1200mm