BTU社
グローバル対応
世界5か所の支社より、グローバルなサポートが可能です。今後予想される、日本国外でのサポートも安心です。また、世界共通仕様なので、日本国外での機械操作のノウハウの共有も可能です。
製品紹介
ShinTerra
メタリゼーション乾燥焼成システム


BTU社のShinTerra(メタリゼーション乾燥焼成システム)は、従来製品及び顧客要望を多く取り入れ、コストダウンも実現した最適のメタリゼーションシステムです。
設備仕様
モデル | 焼成のみの仕様 | 乾燥/焼成仕様 |
---|---|---|
温度定格 | 1,000℃ | 400/1,000℃ |
動作温度 | 200〜950℃ | 100〜350℃/200〜950℃ |
雰囲気 | 空気 | 空気 |
スループット(WPH) | 1,800 | 1,800 |
ベルト幅 | 254mm(10inch) | 254mm(10inch) |
ベルトタイプ | エッジベルト | エッジベルト |
ベルト速度範囲 | 762〜7,620inch/min (30〜300inch/min) |
762〜7,620inch/min (30〜300inch/min) |
仕様寸法L×W×H | 5.7m×1.2m×2.0m (18.7inch×49inch×78inch) |
9.0m×1.2m×2.0m (28.5inch×49inch×78inch) |
特徴
1.排気マネージメント
*高能力排気機能
*メンテナンスインターバルの拡張
*統一されたユーティリティロケーション
3.エッジサポートベルト
*ウェハはエッジ部で受けられる仕様
*表面のマーキングを排除
*改良された加熱パフォーマンス
2.チャンバーオペレーション
*作業性を考慮した簡易かつ有効な構造設計
*チャンバー内の容易なメンテナンス
*精巧な耐火性と絶縁性
4.独占技術の制御システム
*WINCONコントローラの採用
*環境に優しい制御機能
*OPC, SECS/GEMインターフェース対応
オプション仕様
*ブラシ / 超音波ベルトクリーナー | *拡張テーブル | *温度モニタリング(5/6ゾーン用) |
*非常用電源 | *ディンプルベルト / フラットベルト | |
*方向の逆移送タイプ |
Fast Fire(9inch/14inch/25inch)
各種電気部品の高性能高速焼成冷却システム

BTU社のファーストファイアファーネスは、高速ヒーティング及び冷却機能を有し、優れた空気、ガス制御、高精度温度制御により高厚フィルムや各種コンポーネントの焼成〜冷却を行います。
設備仕様
モデル | Fast Fire 9 inch | Fast Fire 14 inch | Fast Fire 25 inch |
---|---|---|---|
雰囲気 | エア | エア | エア |
コンベア速度 | 1-6inch/min | 1-6inch/min | 1-6inch/min |
コンベア幅 | 9inch(23cm) | 14inch(36cm) | 25inch(64cm) |
ヒートゾーン長さ | 90inch(229cm) | 126inch(320cm) | 126inch(320cm) |
ヒートゾーン数 | 8 | 7 | 7 |
冷却ゾーン長さ | 24inch(61cm) | 48inch(122cm) | 48inch(122cm) |
システム全幅 | 36inch(91cm) | 36inch(91cm) | 48inch(122cm) |
システム全長 | 19ft(5.8m) | 24.5ft(7.5m) | 24.5ft(7.5m) |
システム高さ | 60inch(152.4cm) | 60inch(152.4cm) | 60inch(152.4cm) |
対象材料
*銅、金属高厚フィルム | *Nタイプサーモカップル |
*回路コンポーネント | *精密抵抗器 |
*パッシブコンポーネント | *ガラスパッシベーション |
標準仕様
*最大焼成温度1,050℃ | *クローズドループによるベルト速度制御 |
*各ゾーンでの独立温度制御 | *アクティブな冷却機能 |
オプション仕様
*空気清浄化及び乾燥機能 | *超音波ベルトクリーナー |
*自動温度制御による水冷機能 | *KPBプラチナサーモカップル |
*N2ガス制御 | *ベルト状の均一温度制御±1℃ |
*水冷却機能 |