BTU社
グローバル対応
世界5か所の支社より、グローバルなサポートが可能です。今後予想される、日本国外でのサポートも安心です。また、世界共通仕様なので、日本国外での機械操作のノウハウの共有も可能です。
製品紹介
ShinTerra
メタリゼーション乾燥焼成システム
BTU社のShinTerra（メタリゼーション乾燥焼成システム）は、従来製品及び顧客要望を多く取り入れ、コストダウンも実現した最適のメタリゼーションシステムです。
設備仕様
| モデル | 焼成のみの仕様 | 乾燥/焼成仕様 |
|---|---|---|
| 温度定格 | 1,000℃ | 400/1,000℃ |
| 動作温度 | 200〜950℃ | 100〜350℃/200〜950℃ |
| 雰囲気 | 空気 | 空気 |
| スループット（WPH） | 1,800 | 1,800 |
| ベルト幅 | 254mm(10inch) | 254mm(10inch) |
| ベルトタイプ | エッジベルト | エッジベルト |
| ベルト速度範囲 | 762〜7,620inch/min (30〜300inch/min) |
762〜7,620inch/min (30〜300inch/min) |
| 仕様寸法L×W×H | 5.7m×1.2m×2.0m (18.7inch×49inch×78inch) |
9.0m×1.2m×2.0m (28.5inch×49inch×78inch) |
特徴
１．排気マネージメント
＊高能力排気機能
＊メンテナンスインターバルの拡張
＊統一されたユーティリティロケーション
３．エッジサポートベルト
＊ウェハはエッジ部で受けられる仕様
＊表面のマーキングを排除
＊改良された加熱パフォーマンス
２．チャンバーオペレーション
＊作業性を考慮した簡易かつ有効な構造設計
＊チャンバー内の容易なメンテナンス
＊精巧な耐火性と絶縁性
４．独占技術の制御システム
＊WINCONコントローラの採用
＊環境に優しい制御機能
＊OPC, SECS/GEMインターフェース対応
オプション仕様
| ＊ブラシ / 超音波ベルトクリーナー | ＊拡張テーブル | ＊温度モニタリング（5/6ゾーン用） |
| ＊非常用電源 | ＊ディンプルベルト / フラットベルト | |
| ＊方向の逆移送タイプ | ||
Fast Fire（9inch/14inch/25inch）
各種電気部品の高性能高速焼成冷却システム
BTU社のファーストファイアファーネスは、高速ヒーティング及び冷却機能を有し、優れた空気、ガス制御、高精度温度制御により高厚フィルムや各種コンポーネントの焼成〜冷却を行います。
設備仕様
| モデル | Fast Fire 9 inch | Fast Fire 14 inch | Fast Fire 25 inch |
|---|---|---|---|
| 雰囲気 | エア | エア | エア |
| コンベア速度 | 1-6inch/min | 1-6inch/min | 1-6inch/min |
| コンベア幅 | 9inch(23cm) | 14inch(36cm) | 25inch(64cm) |
| ヒートゾーン長さ | 90inch(229cm) | 126inch(320cm) | 126inch(320cm) |
| ヒートゾーン数 | ８ | ７ | ７ |
| 冷却ゾーン長さ | 24inch(61cm) | 48inch(122cm) | 48inch(122cm) |
| システム全幅 | 36inch(91cm) | 36inch(91cm) | 48inch(122cm) |
| システム全長 | 19ft(5.8m) | 24.5ft(7.5m) | 24.5ft(7.5m) |
| システム高さ | 60inch(152.4cm) | 60inch(152.4cm) | 60inch(152.4cm) |
対象材料
| ＊銅、金属高厚フィルム | ＊Nタイプサーモカップル |
| ＊回路コンポーネント | ＊精密抵抗器 |
| ＊パッシブコンポーネント | ＊ガラスパッシベーション |
標準仕様
| ＊最大焼成温度1,050℃ | ＊クローズドループによるベルト速度制御 |
| ＊各ゾーンでの独立温度制御 | ＊アクティブな冷却機能 |
オプション仕様
| ＊空気清浄化及び乾燥機能 | ＊超音波ベルトクリーナー |
| ＊自動温度制御による水冷機能 | ＊KPBプラチナサーモカップル |
| ＊N2ガス制御 | ＊ベルト状の均一温度制御±１℃ |
| ＊水冷却機能 | |
