製品紹介

PRODUCTS

HOME > 製品紹介 > BTU社

BTU社

グローバル対応

世界5か所の支社より、グローバルなサポートが可能です。今後予想される、日本国外でのサポートも安心です。また、世界共通仕様なので、日本国外での機械操作のノウハウの共有も可能です。

製品紹介

ShinTerra

メタリゼーション乾燥焼成システム

BTU社のShinTerra(メタリゼーション乾燥焼成システム)は、従来製品及び顧客要望を多く取り入れ、コストダウンも実現した最適のメタリゼーションシステムです。

設備仕様
モデル 焼成のみの仕様 乾燥/焼成仕様
温度定格 1,000℃ 400/1,000℃
動作温度 200〜950℃ 100〜350℃/200〜950℃
雰囲気 空気 空気
スループット(WPH) 1,800 1,800
ベルト幅 254mm(10inch) 254mm(10inch)
ベルトタイプ エッジベルト エッジベルト
ベルト速度範囲 762〜7,620inch/min
(30〜300inch/min)
762〜7,620inch/min
(30〜300inch/min)
仕様寸法L×W×H 5.7m×1.2m×2.0m
(18.7inch×49inch×78inch)
9.0m×1.2m×2.0m
(28.5inch×49inch×78inch)
特徴

1.排気マネージメント
 *高能力排気機能
 *メンテナンスインターバルの拡張
 *統一されたユーティリティロケーション

3.エッジサポートベルト
 *ウェハはエッジ部で受けられる仕様
 *表面のマーキングを排除
 *改良された加熱パフォーマンス

2.チャンバーオペレーション
 *作業性を考慮した簡易かつ有効な構造設計
 *チャンバー内の容易なメンテナンス
 *精巧な耐火性と絶縁性

4.独占技術の制御システム
 *WINCONコントローラの採用
 *環境に優しい制御機能
 *OPC, SECS/GEMインターフェース対応

オプション仕様
*ブラシ / 超音波ベルトクリーナー *拡張テーブル *温度モニタリング(5/6ゾーン用)
*非常用電源 *ディンプルベルト / フラットベルト
*方向の逆移送タイプ
Fast Fire(9inch/14inch/25inch)

各種電気部品の高性能高速焼成冷却システム

BTU社のファーストファイアファーネスは、高速ヒーティング及び冷却機能を有し、優れた空気、ガス制御、高精度温度制御により高厚フィルムや各種コンポーネントの焼成〜冷却を行います。

設備仕様
モデル Fast Fire 9 inch Fast Fire 14 inch Fast Fire 25 inch
雰囲気 エア エア エア
コンベア速度 1-6inch/min 1-6inch/min 1-6inch/min
コンベア幅 9inch(23cm) 14inch(36cm) 25inch(64cm)
ヒートゾーン長さ 90inch(229cm) 126inch(320cm) 126inch(320cm)
ヒートゾーン数
冷却ゾーン長さ 24inch(61cm) 48inch(122cm) 48inch(122cm)
システム全幅 36inch(91cm) 36inch(91cm) 48inch(122cm)
システム全長 19ft(5.8m) 24.5ft(7.5m) 24.5ft(7.5m)
システム高さ 60inch(152.4cm) 60inch(152.4cm) 60inch(152.4cm)
対象材料
*銅、金属高厚フィルム *Nタイプサーモカップル
*回路コンポーネント *精密抵抗器
*パッシブコンポーネント *ガラスパッシベーション
標準仕様
*最大焼成温度1,050℃ *クローズドループによるベルト速度制御
*各ゾーンでの独立温度制御 *アクティブな冷却機能
オプション仕様
*空気清浄化及び乾燥機能 *超音波ベルトクリーナー
*自動温度制御による水冷機能 *KPBプラチナサーモカップル
*N2ガス制御 *ベルト状の均一温度制御±1℃
*水冷却機能